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凈化車間二次配技術:真空系統(tǒng)的基礎知識介紹

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日期:2020-11-12


真空所謂“真空”,是指在給定的空間內,壓強低于101325帕斯卡(也即一個標準大氣壓強約101KPa)的氣體狀態(tài)。

國際真空行業(yè)通用的“真空度”,也是最科學的,是用絕對壓力標識;指的是“極限真空、絕對真空度、絕對壓力”,但“相對真空度”(相對壓力、真空表表壓、負壓)由于測量的方法簡便、測量儀器非常普遍、容易買到且價格便宜,因此也有廣泛應用。

理論上二者是可以相互換算的,兩者換算方法如下:

相對真空度 = 絕對真空度(絕對壓力)- 測量地點的氣壓


真空區(qū)域劃分(GB3163)

 

壓力單位表

 

實現(xiàn)和應用

在地球表面,真空通常是對特定的密閉空間抽氣來獲得,通常用來抽氣的設備有容積泵、分子泵、氣體捕集泵或真空發(fā)生器等。真空應用是指利用稀薄氣體的物理環(huán)境完成某些特定任務且應用十分廣泛:

利用真空制造產(chǎn)品(如電子管)

使用真空環(huán)境作為工藝(如真空鍍膜)

真空環(huán)境提純(如冶煉中真空電弧重熔)

利用真空的物理特性隔熱(如太陽能發(fā)電所使用的真空管)等

 




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